平面度：平面度就是指基片具备的宏观经济凸凹高宽比相对性理想化平面图的误差。平面度精确测量就是指被测具体表层对其理想化平面图的变化量。平面度偏差是将被测具体表层与理想化平面图开展较为，彼此之间的线值间距即是平面度误差；或根据精确测量具体表层上若干点的绝对高度差，再计算以线值表达的平面度误差。
平行度:用标记//表达。平行度指两平面图或是两直线平行的水平，指一个平面图（边）相对性于另一个平面图（边）平行面的偏差控制值。平行度尺寸公差是一种定项尺寸公差，是被测因素相对性标准在方位上容许的变化全量。因此定项尺寸公差具备操纵方位的作用，即操纵被测因素指向标准因素的方位。
垂直度:用标记⊥表达。垂直度点评平行线中间、大理石构件生产厂家平面图中间或平行线与平面图中间的竖直情况。在其中一个平行线或平面图是点评标准，而平行线能够 是被测试品的平行线一部分或匀速直线运动运动轨迹，平面图能够 是被测试品的平面图一部分或轨迹产生的平面图。
直线度：用标记—表达。限定具体平行线对理想化平行线变化量的一种形状公差。由样子（理想化宽容样子）、尺寸（尺寸公差值）、方位、部位四个因素构成。
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